装置剛性の高さ、高性能光学部品の採用などで、耐久性に優れ、出力結果である干渉縞の安定性が極めて高いのが特長です。
精度の根源となる基準レンズ・基準平面の加工精度が高いため、誤差の非常に少ない測定を実現できます。
(基準レンズでλ/40以下、基準平面でλ/30以下という世界最高レベルの精度)
レイアウトは、左写真タイプの縦型と、Rの大きな球面測定に適した横型の選択ができます。
また、干渉縞解析装置の組み合わせも可能です。
※新たにφ150用のAK150ZF(縦型)が加わりました。
主な測定対象物
各種光学レンズ・CD/DVDピックアップレンズ・光学フィルター・半導体ウエハー・精密ベアリング・精密摺動面・
スーパーミラー・磁気ヘッド・高精度平坦面など
※実機をご覧になりたい場合はご連絡ください
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